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公司動(dòng)態(tài)
避免二氧化硅層表面的缺陷方法
作者:滑石粉生產(chǎn)廠家 發(fā)布時(shí)間:2022-10-19 11:40:29點(diǎn)擊:51
1、石英管長(zhǎng)期性應(yīng)用,處于高溫地區(qū)的石英管造成乳白色塑料薄膜,這類乳白色塑料薄膜的構(gòu)造較為疏松,大氣旋吹開或?qū)嶋H操作時(shí)振動(dòng)就會(huì)導(dǎo)致粒子掉下去,落入硅片表面就會(huì)產(chǎn)生氧化層表面部分凸起。因此應(yīng)提升對(duì)石英管的清理解決及適度拆換脆化的石英管是很須的。
2、一定堅(jiān)決杜絕水珠噴到石英管中,特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時(shí),當(dāng)溫度過高,發(fā)生爆發(fā)式燒開時(shí),通常會(huì)將水滴立即噴到石英管中,如落入硅片上,就會(huì)發(fā)生五顏六色斑點(diǎn)。此外清理過的硅片上如殘余水漬,也會(huì)在氧化影片上發(fā)生斑點(diǎn)。
3、如在二氧化硅表面存有黑斑時(shí),黑斑處的氧化層對(duì)殘?jiān)难诒喂πШ苡锌赡軣o效,因而導(dǎo)致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑時(shí),還會(huì)繼續(xù)導(dǎo)致光刻技術(shù)實(shí)際操作品質(zhì)降低,危害全部芯管生產(chǎn)制造的良品率,因此在生產(chǎn)制造中應(yīng)盡量減少發(fā)生黑斑。
要想避免缺陷,那么我們就應(yīng)該做到這幾點(diǎn)。避免二氧化硅層表面產(chǎn)生缺陷導(dǎo)致其使用被影響。它的使用還是比較廣泛的,就需要大家正確使用它們。
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